ウェハバンプ形成リフロー装置
６・８インチ対応ウェハバンプリフロー
１．マガジンｔｏマガジンのスタンド
アロンタイプ
２．入口投入部に３軸クリーンロボット
搭載可能（インライン化可）
３．ロボットなし（マガジン昇降）の
ローダー／アンローダ内蔵廉価
タイプも装備。
インテリジェントタイプの６・８インチウェハバンプリフロー
インテリジェントタイプ６・８インチウェハバンプリフロー
１．ウェハハンドリング用３軸クリーンロボット
２基（入口出口）搭載
２．温度・酸素濃度・生産履歴のデータロギング
が可能
３．ボール搭載機／リペア機とのインライン化
が可能
８・１２インチ対応ウェハバンプリフロー
入口出口３軸ロボット内蔵 FOUP対応ウェハバンプリフロー
1. 下部ホットプレート＋加熱窒素ガス（PAT.）
不活性ガスによるムラの無い均一加熱が可能。
2. ホットプレートとは非接触加熱。
反りのある薄化ウェハ（WLCSP）にも対応可能。
3. 処理履歴のデータロギングが可能（オプション）
ホストＰＣに定期的にアップロードできます。
4. 標準は、FOUP to FOUPのスタンドアロン生産。
ボール搭載機やボールリペア機とのインライン化
も可能（オプション）
